高溫壓力傳感器是工業(yè)實踐中最為常用的一種壓力變送器，其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。

 

　　高溫壓力傳感器由硅膜片、襯底、下電極和絕緣層構(gòu)成。其中下電極位于厚支撐的襯底上。電極上蒸鍍一層絕緣層。硅膜片則是利用各向異性腐蝕技術(shù)，在一片硅片上從正反面腐蝕形成的。上下電極的間隙由硅片的腐蝕深度決定。硅膜片和襯底利用鍵合技術(shù)鍵合在一起，形成具有一定穩(wěn)定性的硅膜片電容壓力傳感器。

 

　　高溫壓力傳感器工作原理

 

　　高溫壓力傳感器的工作原理風(fēng)壓傳感器的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個對應(yīng)于這個壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。

 

　　高溫壓力傳感器產(chǎn)品應(yīng)用

 

　　高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境，涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、軍工、石化、油井、電力、船舶、機床、管道送風(fēng)、鍋爐，熔爐等眾多行業(yè)。

 

　　高溫壓力傳感器產(chǎn)品選型

 

　　1、測量的是何種壓力。

 

　　2、所測量的介質(zhì)。在選擇高溫熔體壓力傳感器時需要考慮的關(guān)鍵因素是所測量的介質(zhì)。

 

　　3、需要達(dá)到什么樣的精度。

 

　　4、此高溫壓力傳感器的耐溫性、互換性、時間穩(wěn)定性和堅固程度。

 

　　5、此高溫壓力傳感器使用何種輸出，需要的激勵電壓，以及怎樣將傳感器連接到自己的電氣系統(tǒng)中。

 

　　高溫壓力傳感器發(fā)展方向

 

　　1、向高精度發(fā)展

 

　　2、向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展

 

　　3、向微型化發(fā)展

 

　　4、向微功耗及無源化發(fā)展

 

　　5、向智能化數(shù)字化發(fā)展