淺析激光干涉儀應用干涉法
2020-12-30標簽：激光干涉儀
激光干涉儀應用干涉法
為了產生高精度的干涉圖（清晰的條紋），有一個高穩(wěn)定的波長源是非常重要的，這是用XL-80激光器實現(xiàn)的。基于邁克爾遜原理的干涉儀有很多種，但是線性干涉儀是最簡單的一種。在XL-80激光系統(tǒng)中，兩個反射鏡（用于邁克爾遜激光干涉儀）是后向反射器（棱鏡將入射光沿平行于入射光的方向反射回來）。其中一個連接到形成參考臂的分束器上。
另一個回復反射器形成可變長度測量臂，因為其距離相對于分束器而變化。激光束（1）從XL-80激光頭射出，在偏振分束器處分成兩束（反射（2）和傳輸（3））。這些光束從兩個后向反射器反射回來，在到達探測器之前在分束器處重新組合。
使用后向反射器可確保來自參考臂和測量臂的光束在分束器處重新組合時是平行的。重組后的光束到達探測器，在那里它們會以建設性或破壞性的方式相互干擾。在建設性干涉過程中，兩束光束同相，兩光束的峰值互相加強，形成明亮的條紋；而在破壞性干涉中，光束相位不一致，一束的峰值被第二束的波谷抵消，形成暗條紋。
激光裝置
探測器中的光信號處理允許觀察到這兩個光束的干涉。測量臂的位移引起兩束光束相對相位的變化。這種破壞性和建設性干涉的循環(huán)導致重組光的強度經歷周期性變化。每次測量臂/后向反射器移動316.5nm（即激光波長的一半）時，都會出現(xiàn)一個強度從亮到暗再到光的變化周期（因為這種移動會導致光程改變633nm，即激光波長）。因此，通過使用以下公式計算循環(huán)次數(shù)來測量移動：
激光干涉儀公式式中，d是位移（以微米為單位），λ是激光的波長（0.633微米），N是通過的條紋數(shù)。在這些周期內，通過相位插值可獲得1nm的更高分辨率。
上一篇：邁克爾遜激光干涉儀的原理解析
- 版權與免責聲明：凡本網注明“來源：儀表網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-儀表網合法擁有版權或有權使用的作品， 未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：儀表網”。違反上 述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其它來源（非儀表網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行 為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內與本網聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
熱點資訊
最新產品\ NEW PRODUCT
-
SJ6000機床激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。 -
SJ6000機床導軌激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點。結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000機床激光干涉精密測量系統(tǒng)集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000高精度激光干涉儀測量設備具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等，廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域。
-
sj6000機床激光干涉測量校準系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
0.05ppm機床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點，在機床加工領域有著廣泛的應用。它集光、機、電、計算機等技術于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
-
SJ6000機床激光干涉測量校準儀具有高測量精度和重復性，可以實現(xiàn)非接觸式測量方式，不會對被測量物體造成損傷。它結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
-
SJ6000激光干涉儀測量雙直線導軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。
-
SJ6000激光干涉位移測量儀在動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
-
SJ6000導軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
