大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測(cè)儀(Model LSDI-2000-LA),適用于大口徑光學(xué)材料、半導(dǎo)體材料和金屬等材料拋光后的表面缺陷檢測(cè)和分析。本系統(tǒng)是一款非接觸式、全自動(dòng)的檢測(cè)儀器,能夠高速檢測(cè)待測(cè)表面的劃痕、麻點(diǎn)、臟污等特性。

1. 高速度
2. 高靈敏度
3. 高重復(fù)性
4. 全自動(dòng)操作
5. 可根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)判別

大口徑光學(xué)元件散射缺陷檢測(cè)儀 | ||
型號(hào) | LSDI-2000-LA | LSDI-3000-LA |
檢測(cè)方式 | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
檢測(cè)靈敏度 | ≤ 500nm | 65 nm~90 nm |
樣品尺寸 | 米級(jí) | φ 300 mm |
注:可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測(cè)試的解決方案。