SEMOZON臭氧發生器及集成系統
- SEMOZON AX8407/8407C高濃度,高流量臭氧發生器 緊湊型臭氧發生器
- O3MEGA AX8561集成電子流量,壓力控制的臭氧發生器系統
- SEMOZON AX8550 二通道臭氧發生及恒系統
- SEMOZON AX8555 四通道臭氧發生器集成系統
- SEMOZON AX8575 多通道臭氧發生器集成系統 可集成冷卻水交換器
LIQUZON臭氧水循環系統
- LIQUOZON Smart臭氧水遞送系統。提供高濃度,大流量臭氧水
- LIQUOZON Single 臭氧水遞送系統。緊湊型設計,適用于單片硅片清洗系統
- LIQUOZON LoopO3 臭氧水循環遞送系統。緊湊型設計,帶循環水泵,主要用于硅片清洗工藝
- LIQUOZON PrimO3 臭氧水循環遞送系統。高濃度,大流量,帶循環水泵,主要用于硅片清洗工資