基于NF3等含氟氣體電力，產生活性氣體，廣泛應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功能大，效率高等特點。
產品有：
- ASTRON i-AX7670(3升)
- ASTRON ex-AX7685(6升)
- ASTRON hf-s-AX7645(15升,分體式）
- ASTRON hf-AX7640（15升）
- ASTRON hf+AX7635（22升）
- ASTRON hf++AX7667（30升）
基于NF3等含氟氣體電力，產生活性氣體，廣泛應用于CVD等工藝腔清洗，它具有功能大，效率高等特點。
產品有：
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