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原子層沉積系統 R系列

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  • 所在地深圳市
  • 更新時間2022-08-03
  • 廠商性質其他
  • 所在地區深圳市
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深圳市科時達電子科技有限公司創建于2011年,經過十年的發展,已經成長為一家專注于電子材料、半導體儀器設備、醫療設備三大產品領域的,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工電子材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等。科技創新是科時達公司的核心競爭力。我們擁有一支高度專業化的技術研發和管理團隊,建立了國內的實驗室和光電研究中心,與多家科研機構與大專院校開展“產、學、研”合作,成功開發出一系列具有高科技含量的市場產品,公司產品通國內科研機構的產品認證。同時,公司擁有電子信息領域相對完備的科技創新體系,在電子裝備、醫療設備、產業基礎、網絡安全等領域占據技術主導地位,肩負著支撐科技自立自強、推進國內科技現代化、加快數字經濟發展、服務社會民生的重要職責。聚焦“三大定位”主責,科時達公司按照“做優電子裝備、做大儀器設備、做精產業基礎、做強研發銷售”的總體布局,持續優化核心業務體系,推動企業在科技現代化建設、現代產業體系建設的核心關鍵技術節點上“布點”,在產業鏈價值鏈創新鏈關鍵環節上“成線”,在關系國家、國民經濟命脈和國計民生關鍵領域上“控面”。做強電子裝備,重點發展利用聲、光、電磁信號進行信息感知、傳輸、運用等的系統級裝備和產品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實在高校科研領域和高科枝企業的提供地位。做大儀器設備,重點發展半導體儀器基礎設施和醫療設備應用與整體解決方案,全面支撐基于網絡信息體系的聯合和全域能力提升、國家治理能力提升和數字化發展。做精產業基礎,重點打造形成電子基礎產品科研和生產的基礎支撐能力,以夯實產業鏈供應鏈自主可控能力為根本目標,推動以“科時達基因”為核心的銷售集群式發展。做強研發銷售,致力于電子產品的研發。科時達公司是一家,多年來公司研發團隊致力于電子材料、半導體儀器和醫療設備的研發。同時企業還致力于將產品做好國內外市場銷售,在整體銷售模式中具備一套完整的銷售體系。以客戶需求為導向,以質量求生存,科時達公司以超凡的品質和優良的服務,獲得國內外市場的一致認可;公司營銷網絡覆蓋,產品世界各地,目前已經成為國內電子科技行業中重要的生產制造基地。
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PICOSUN擁有30多年在芬蘭ALD反應器制造而得到的專業技術。Tuomo Suntola博士,于1974年發明了ALD技術,是PICOSUN董事會的成員。我們的技術官SVEN LINDFORS從1975年開始連續的設計ALD系統。綜合起來講,PICOSUN擁有了200多年的ALD經驗并貢獻了100多項ALD。我們悠久的歷史和廣泛的背景使PICOSUN成為ALD技術優質的合作伙伴。技術參
原子層沉積系統 R系列 產品詳情

PICOSUN擁有30多年在芬蘭ALD反應器制造而得到的專業技術。Tuomo Suntola博士,于1974年發明了ALD技術,是PICOSUN董事會的成員。我們的技術官SVEN LINDFORS從1975年開始連續的設計ALD系統。綜合起來講,PICOSUN擁有了200多年的ALD經驗并貢獻了100多項ALD。我們悠久的歷史和廣泛的背景使PICOSUN成為ALD技術優質的合作伙伴。



技術參數:



技術指標
SUNALE™ R系列技術特點

基本特點:
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request)
工藝溫度 Up to 500°C

反應室體積 小型、中型、大型
反應室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz)
前驅體 2-6 氣體 / 氣體 / 固體

基片裝載 氣體升降


尺寸:
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D)
重量 200 kg



工況:
電源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac
真空泵 30-80 m3/h
載氣 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm

壓縮空氣 4-5.5 bar 過壓
冷卻水 反應器不需要

排氣 為真空泵及源櫥柜配備

樣品裝載選項:
Picoloader™手動樣品裝載系統,帶一個預真空室和閘閥



主要特點:

特點
多功能的反應器設計
全套的服務


關鍵詞:真空泵
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