| | 設備簡介： 適用于布里奇曼方法（坩堝下降法），在真空、保護氣氛或氧化氣氛下的晶體生長，可預存15組工藝曲線，工藝曲線包括溫度，氣體流量，晶體進給速度（長晶速率），任意切換；長晶結束，報警提示，生成實驗報告并導出（包含但不限于溫度，氣體流量，進給速率等）。 | |||
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配置詳情
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| 項目 | 設備技術指標選擇 |
| 加熱系統 | 晶體生長環境選擇 | 氧化氣氛/保護氣氛/真空狀態 |
| 長晶溫區選擇 | 單溫區200mm /300mm/400mm 雙溫100+100/200+200mm /300+300mm 三溫：200+200+200mm | |
| 反應腔尺寸選選擇 | Φ50/Φ60/Φ80/Φ100（更多選擇聯系客服） | |
| 主控工作溫度 | 1150℃/1650℃ | |
| 控溫精度 | 300~1150±0.5℃ | |
| 主控爐膛材料 | 高純多晶纖維復合耐火保溫層 | |
| 主控爐膛模式 | 環形加熱整體密閉 | |
| 密封方式 | 水冷不銹鋼密封法蘭 | |
| 提拉系統 | 長晶模式選擇 | 坩堝下降法 /坩堝平移法 |
| 物料裝載模式 | 上吊裝下推進模式/下裝載模式 | |
| 晶體運動方式選擇 | 坩堝只移動/ 坩堝移動并旋轉 | |
| 結構 | 雙層滑軌結構，C7大力距滾珠絲杠，SPY鋁托硬光軸直線導軌 | |
| 長晶進給系統 | 伺服進給高精度運行平穩，大扭矩諧波減速進給速度30μm/hr~30000μm/hr可調，物料下推進運動模式，無旋轉 | |
| 裝料密封方式 | 電動密封法蘭 | |
| 裝料密封電機 | 57CM23閉環步進電機，平穩高速 | |
| 供氣系統 | 流量計選擇 | 1/2/3路質子子流量計100sccm 200sccm ,500sccm |
| 氣路管芯 | 專用不銹鋼氣體管道（1/4"） | |
| 調節閥類型 | 手動調節閥 | |
| 管道常態 | 常閉 | |
| 測量精度 | ±1.0%F.S | |
| 線性度 | ±0.5%F.S | |
| 重復精度 | ±0.2%F.S | |
| 壓力范圍 | -0.1-0.15 MPa | |
| 響應時間 | 2S | |
| 工作環境溫度 | (15～50℃) | |
| 精度保證溫度 | (15～35℃) | |
| 真空系統 | 真空類型選擇 | NBD-4C真空泵/ NBD-1013A 分子泵系統 |
| 真空計類型 | 數字真空計/模擬真空計 | |
| 系統真空 | ≤5pa /2.8*10-3pa | |
| 操控系統 | 操控模式 | NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，10寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式； |
| 長晶工藝設置 | 可預存15組工藝曲線，工藝曲線包括溫度，氣體流量，晶體進給速度（長晶速率），任意調用；長晶結束，報警提示，并生成實驗報告導出，（）包含但不限于溫度，氣體流量，進給速率等） | |
| 溫度校正 | 主控控溫溫度和試樣溫度的差值，系統全程進行非線性修正（詢問客戶長晶溫度點，可做特別效驗） | |
| 實現功能 | 可適用于布里奇曼法在真空或氣氛或空氣狀態生長的各類晶體（坩堝下降法） | |
| 系統保護 | 超溫報警，過流保護，斷偶提示 | |
| 隨機產品配置 | 反應腔1根 ，鎳鉻鋁吊絲5米 ，說明書1份;隨機工具等。 | |
| 服務項目 | 運輸及保險費，包裝費,安裝及技術服務費； 提供12個月質保，觸控系統24個月，終身保修 | |
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