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超高真空除氣系統

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  • 所在地北京市
  • 更新時間2025-01-11
  • 廠商性質其他
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  • 產品數量72
  • 人氣值1153
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北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業北京中科科儀股份有限公司的控股子公司,是專門從事真空系統集成產品設計、制造、銷售和服務的國家企業,為客戶提供真空系統整體解決方案和一站式服務,包括真空集成系統的總體設計、工程實施、設備安裝、技術服務等。公司主營業務分為空間環境模擬裝置、充氣回收檢漏系統、新能源真空應用系統和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業涉及航空航天、新能源(太陽能和核能)、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領域。公司擁有*的裝備制造實力,通過了ISO質量管理體系和中核供應商體系認證,擁有3項發明及三十余項實用新型,曾參與:神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施,在真空領域具有國內的技術實力。中科科美致力于發展成為國內、具有國際競爭力的真空系統集成整體解決方案供應商,實現與客戶的共同成長!
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超高真空除氣設備主要用于電子真空器件及半導體器件制備時的抽真空和烘烤除氣,是無油、超高真空系統。可根據用戶使用要求定制1~8工位,應用于電子半導體行業。
超高真空除氣系統 產品詳情

設備特點

超高真空除氣設備主要用于電子真空器件及半導體器件制備時的抽真空和烘烤除氣,是無油、超高真空系統。可根據用戶使用要求定制1~8工位,應用于電子半導體行業。

設備性能

1、系統內極限真空度:5×10-8Pa;

2、真空室極限真空度:5×10-5Pa;

3、加熱爐尺寸φ500×800mm;

4、加熱溫度500~600℃。

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