工業生產和科學實驗離不開對工作質量的理解或對介質(原材料)比例的控制。為了保證和進行經濟核算,需要準確和控制單位時間內物料的輸送量(流量)或某段時間內物料的總輸送量(累積流量),并要求及時發出反映流量大小的信號。流量測量,無論是以計量為目的,還是用于過程控制,測量儀器的種類都很多,用超聲檢測流量是重要的方法之一。當超聲在流動媒體中傳播時,與固定坐標系統(如管道中的管壁)相比,超聲速度與靜止媒體中的傳播速度不同,其變化值與媒體流速有關,因此可以根據超聲速度的變化來尋求媒體流速。此外,媒體流速也可以根據超聲在流體中的多普勒效應來尋求媒體流速,從而根據管徑等已知參數來計算流體的瞬時流量和累積流量。
研究利用超聲波測量液體和氣體流量已有多年的歷史。1928年,法國的O.Rutten成功開發了世界上的超聲波流量計,之后美國、意大利等國家相繼有人研究,但都局限于相位差法,進展不大。1955年,采用聲循環法的超聲波流量計首先作為航空燃料流量計成功,然后出現了基于時差法和波束偏移法的超聲波流量計。1958年,A.L.Herdrich等人發明了折射式超聲波探頭,消除了管壁中聲波交混回響引起的相位失真,為換能器的管夾安裝提供了理論依據,超聲波多普勒流量計也在這個時期誕生。1963年,超聲波流量計開始從日本的Tokyokeiki等人引進工業應用,但由于電子線路過于復雜淘汰。20世紀70年代以后,集成電路迅速發展,超聲波多普勒流量計在這個時期發生。1963.20年代,超聲波流量計的銷售額分別占2.3.60億元和30億元。
如今,超聲波流量計在供水、電力、石油、化工、冶金、煤礦等測量測試中發揮著越來越重要的作用,取代了傳統的差壓流量計和電磁流量計。
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