MEMS VOC 氣體傳感器(MEMS VOC Gas Sensor) MEMS VOC氣體傳感器是基于MEMS工藝在Si基襯底微加熱板上涂覆敏感材料制備而成一種氣體傳感器。可用于檢測不同場景下VOC氣體含量。其使用的敏感材料在潔凈空氣下具有較低的電導率，當傳感器處于目標氣體環境中，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。使用檢測電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
本文件按照GB/T 1.1—2020《標準化工作導則 第1部分：標準化文件的結構和起草規則》的規定 起草。本文件由安徽維納物聯科技有限公司提出。本文件由安徽省環境檢測行業協會歸口。本文件起草單位：安徽維納物聯科技有限公司、中國科學院合肥物質科學研究院、安徽元琛環保科技股份有限公司、安徽康菲爾檢測科技有限公司、合肥先進產業研究院。
本標準參考：GB 12358 作業場所環境氣體檢測報警儀通用技術要求；GB 3836.1 爆炸性環境 第1部分：設備 通用要求；GB 3836.2 爆炸性環境 第2部分：由隔爆外殼“d”保護的設備；GB 3836.4 爆炸性環境 第4部分：由本質安全型“i”保護的設備；GB 5170.14-85 電力電子產品振動測試行業標準；GB/T 13384 機電產品包裝通用技術條件；JB/T 9329 儀器儀表運輸、運輸貯存基本環境條件和試驗方法；IEC 60079-29-1 爆炸性環境，易燃氣體探測器的性能要求；IEC 60529 (EQV GB 4208-2008)外殼防護等級等文件編制而成。
本文件規定了MEMS VOC 氣體傳感器的產品分類、技術要求、試驗方法、運輸及貯存。 本文件適用于監測VOC氣體的MEMS傳感器芯片本體及封裝完畢的傳感器器件。
環境要求：
1.濕度要求。對試驗樣品進行濕度試驗，試驗過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。2.溫度要求。對試驗樣品進行低溫、常溫、高溫試驗，試驗過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。3.大氣壓要求。對試驗樣品進行不同大氣壓下試驗，試驗過程中，試樣能正常工作，且滿足4.2之要求。
外觀要求：
a) 傳感器芯片外形、各部分尺寸及加工質量符合圖樣規定。 b) 封裝器件符合圖樣規定，安裝牢固。 c) 封裝器件不得有龜裂、損傷、斷裂等現象。 d) 傳感器通電檢查時，顯示電壓和電流示數應維持恒定范圍內數值。
試驗的基本條件：
1) 待測 VOC 氣體是常見的苯系物、有機氯化物、氟里昂系列、有機酮、胺、醇、醚、酯、 酸和石油烴等廣普性 VOC。 2) 環境溫度為 20±10℃。3) 環境空氣相對濕度為 50%RH±5%RH。 4) 氣體傳感器性能的常規測試所用氣體為乙醇或甲苯，干擾實驗所用氣體包含但不僅限于 氫氣、甲烷、一氧化碳。零點氣體為不影響傳感器響應值的潔凈空氣。 5) 氣體傳感器性能測試在一個靜態的系統進行。通過注入的氣體或蒸汽的體積來改變待測 氣體濃度，通過測試電路反映出的電壓變化，進行系統的器件性能測試。
檢驗規則：
1.產品合格要求。產品須經過公司質量檢驗部門的生產檢驗合格和出廠檢驗合格后，并附有產品質量合格證后方可出 廠。 2.取樣。每一個生產的傳感器產品均需要進行生產檢驗，出廠檢驗應從生產檢驗合格的產品中進行抽檢。3.出廠檢驗。出廠檢測包含穩定性、響應時間(T90)、恢復時間(T10)、響應誤差、跌落試驗、振蕩試驗、濕 度試驗、溫度試驗、干擾氣體試驗、敏感體電阻檢驗。4.型式檢驗。型式檢驗，由質量技術監督部門或檢驗機構隨機抽取并現場抽樣封樣。以確定所有產品質量是否全 面地達到標準和設計要求的判定。
標識：
每一只傳感器均應有清晰、耐久的產品標識，產品標識應包括： c) 制造廠名稱或廠標。 d) 名稱及型號。 e) 制造編號。 f) 制造日期。 g) 適用氣體種類。
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