【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】近日，國家空氣凈化產(chǎn)品及氣體檢測儀器質(zhì)量檢驗檢測中心(江蘇)申請的一項地方標(biāo)準(zhǔn)《微機(jī)電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器檢測方法》獲得江蘇省市場監(jiān)督管理局立項。蘇州市計量測試院作為江蘇省納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會秘書處單位，該標(biāo)準(zhǔn)也是委員會成立以來首個推薦成功立項的標(biāo)準(zhǔn)。
基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)工藝的半導(dǎo)體氣體傳感器技術(shù)是目前半導(dǎo)體氣體傳感器發(fā)展的趨勢，它既有傳統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器高靈敏度、低成本、敏感材料多樣性的優(yōu)勢，又具有體積小、功耗低的特點，可以更好地適用于小型化和微型化器件的大規(guī)模生產(chǎn)，能夠有效提升傳感器的實用性。
本標(biāo)準(zhǔn)將進(jìn)一步促進(jìn)MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器產(chǎn)品質(zhì)量的提升，提高產(chǎn)品市場認(rèn)可度，推進(jìn)行業(yè)健康快速發(fā)展。今后，國家質(zhì)檢中心將持續(xù)提升檢測能力和技術(shù)水平，圍繞產(chǎn)業(yè)需求，提供NQI一站式服務(wù)，為潔凈產(chǎn)業(yè)和氣體檢測相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展做好技術(shù)支撐工作。
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