【儀表網 儀表產業】近日，經申報推薦、形式審查、專家評審、立項公示等審核選拔，上海市計量測試技術研究院承擔的“基于長光程FTIR法檢測14nm及以下先進制程用電子特氣中痕量氮氧化物雜質的檢測方法研究”獲批上海市2022年度“科技創新行動計劃”科學儀器領域立項。
 

　　集成電路制程用電子特氣是電子工業生產不可或缺的原材料，電子特氣的純度與晶體缺陷及器件成品率密切相關。“基于長光程FTIR法檢測14nm及以下先進制程用電子特氣中痕量氮氧化物雜質的檢測方法研究”項目將聚焦集成電路行業制程用電子特氣的檢驗檢測領域，針對14nm及以下先進制程用電子特氣在集成電路制造中出現的質控空白，使用長光程傅里葉變換紅外光譜法，提出一套檢測電子特氣中關鍵氮氧化物雜質的方法，可重點提升長光程FTIR操作應用的技術水平，形成儀器共享的操作流程和應用技術，有效提高傅立葉變換紅外光譜儀的利用率，提升電子特氣超痕量雜質的分析水平。
 

　　上海市計量測試技術研究院(SIMT)是我國最早建立的計量檢定專業機構之一，是上海地區由國家授權的法定計量檢定機構，也是國家計量行政部門批準設立的大區計量測試中心——“華東國家計量測試中心”，國家科技行政部門命名的國家級測試中心——“中國上海測試中心”，迄今已走過90年歷程。
 

　　SIMT地處國內最重要的經濟、金融、貿易、航運中心的上海市，隨著上海市的工業化和科技的不斷發展以及城市綜合能力水平的提高，對計量和檢測技術提出許多課題和要求。在國家和地方政府的大力支持下，SIMT的裝備實力逐步增強，技術能力也不斷得到提升，開展了大量技術規范的制修訂，完成了諸多科學研究課題，并參與了許多重大工程和重大項目建設，每年檢定、校準、檢測的樣品超過百萬臺(件)，在經濟建設與社會發展中發揮了強有力的技術保障和支撐作用。