【儀表網 儀表產業】中芯集成電路制造有限公司（簡稱“中芯”），的集成電路晶圓代工企業之一，中國內地規模大、技術先進的集成電路晶圓制造企業，與中國科學院微電子研究所簽訂MEMS研發代工平臺合作協議，共同進行MEMS傳感器標準工藝開發，合作打造完整的MEMS產業鏈。
　　

　　根據協議，中芯與中國科學院微電子研究所將進行深度合作，充分發揮微電子所在MEMS傳感器設計和成套工藝設計方面的優勢，以及中芯在標準化工藝平臺、產業地位及市場影響力方面的優勢，以MEMS環境傳感器的開發為牽引，并結合其他類型MEMS傳感器結構特點，推進傳感器工藝技術的標準化、平臺化和量產化，縮短從設計方案到量產產品的距離，促進MEMS產業的快速發展。
　　
　　“中芯研發團隊在傳感器領域持續開發新的工藝平臺，引進新客戶，取得了很多新的成績。中芯愿意開放平臺，支持商業化生產、學校和科研院所的研發。”中芯執行官兼執行董事邱慈云博士表示，“中芯與微電子所在多個邏輯工藝開發項目上已有良好的合作基礎，此次我們將繼續深入合作，共同推進MEMS傳感器的成套標準化工藝開發，協助整合并完善MEMS產業鏈。”
　　
　　中國科學院微電子所所長葉甜春參觀了中芯 MEMS 傳感器中段生產線，并表示，“通過微電子所和中芯的產學研合作，我們可以發揮雙方的優勢，共同建設MEMS公共技術服務平臺和電子化MEMS產業鏈信息整合平臺，集產品設計、加工制造、封裝、測試、公共平臺、風險投資為一體，形成產業鏈上下游關系的協同以及公共資源的大化共享，為及中國MEMS產業發展提供有力的支撐。”
　　
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