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操作順序及方法

裝置自身抽真空

a)首先確認(rèn)裝置全系統(tǒng)無(wú)壓力。若有壓力，需開(kāi)啟相關(guān)閥門(mén)將壓力放空至0表壓。隨后用軟管將裝置進(jìn)口和出口連接起來(lái)，依次開(kāi)V2、V3、V4、V7、V8、V9、V71（V71置于右側(cè)板門(mén)內(nèi)）。

b)觀察進(jìn)氣口壓力表M1，確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。若進(jìn)氣口壓力表M1顯示大于0表壓，應(yīng)先排空系統(tǒng)內(nèi)的壓力使進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓。

c)啟動(dòng)真空泵電源，打開(kāi)V1，對(duì)裝置自身抽真空。

d)開(kāi)真空計(jì)電源，觀察真空度。

e)當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到極限真空后，依次關(guān)真空計(jì)電源、V71、V9、V8、V7、V4、V3、V2、V1，關(guān)閉真空泵電源，抽真空結(jié)束。

對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空

a)用軟管將開(kāi)關(guān)設(shè)備與裝置進(jìn)口端連接起來(lái)。

b)開(kāi)V2和開(kāi)關(guān)設(shè)備的閥門(mén)。

c)確定進(jìn)氣口壓力表M1顯示不大于0表壓后，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)啟V1，對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備抽真空。

d)開(kāi)真空計(jì)電源，觀察真空度。當(dāng)真空計(jì)VM顯示達(dá)到所要求值后，依次關(guān)真空計(jì)電源，關(guān)設(shè)備閥門(mén)、V2、V1、和真空泵電源，抽真空結(jié)束。

回收儲(chǔ)存

a)啟動(dòng)制冷機(jī)組，開(kāi)V7和V9，使液化容器和儲(chǔ)存容器內(nèi)壓力（由壓力表M4和M5指示）低于～,關(guān)V7和V9。

b)將軟管與裝置進(jìn)口端連接起來(lái)。

c)開(kāi)V2，確定進(jìn)氣口壓力表M1在0表壓以下后，啟動(dòng)真空泵電源，開(kāi)V1對(duì)軟管抽真空。

d)開(kāi)真空計(jì)電源，當(dāng)真空機(jī)VM顯示達(dá)到極限值時(shí)，可以認(rèn)為軟管內(nèi)空氣已抽凈，依次關(guān)真空計(jì)電源、V1、V2和真空泵電源。

e)把軟管與開(kāi)關(guān)設(shè)備連接，依次開(kāi)啟V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源，調(diào)節(jié)減壓閥V61（出廠已整定，一般不需要調(diào)節(jié)）使壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2顯示小于,對(duì)容器內(nèi)的SF6氣體進(jìn)行回收，同時(shí)進(jìn)行凈化和儲(chǔ)存。

f)當(dāng)壓縮機(jī)進(jìn)氣口壓力表M2低于或達(dá)到所要求回收終壓時(shí)，依次關(guān)開(kāi)設(shè)備閥門(mén)、V2、V5、V8、V9、壓縮機(jī)電源、制冷機(jī)組電源，回收結(jié)束。

利用儲(chǔ)存容器內(nèi)部壓力充氣

a)將軟管與裝置出口端連接起來(lái)。根據(jù)不同用途，必要時(shí)可在裝置出口端加裝減壓器。

b)對(duì)軟管抽真空（開(kāi)V3、真空泵和V1，方法同上。結(jié)束時(shí)注意關(guān)閉V3、V1、真空泵、真空計(jì)、把軟管與開(kāi)關(guān)設(shè)備連接）。

c)開(kāi)V9，使SF6液化容器內(nèi)可能存有的SF6液體流入SF6液態(tài)儲(chǔ)存容器，再開(kāi)開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門(mén)，慢慢打開(kāi)V4，向SF6開(kāi)關(guān)充氣。

d)若充氣后儲(chǔ)存容器內(nèi)的SF6氣體壓力下降與被充開(kāi)關(guān)壓力趨于仍有液體存在時(shí)，可打開(kāi)SF6氣化電加熱器，是液態(tài)SF6充分氣化，以提高儲(chǔ)存容器內(nèi)SF6氣體壓力。

e)當(dāng)開(kāi)關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，應(yīng)先關(guān)閉氣化電加熱器電源，在關(guān)閉V9、V4、開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門(mén)，開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門(mén)，充氣結(jié)束。

利用壓縮機(jī)充氣

a)當(dāng)儲(chǔ)存容器（包括SF6儲(chǔ)存容器和SF6液化容器）內(nèi)壓力低于開(kāi)關(guān)設(shè)備所需的工作壓力，且液位計(jì)已看不到液位，而開(kāi)關(guān)仍需少量SF6氣體時(shí)，才能用此操作。

b)連接軟管至裝置出口端。并對(duì)軟管抽真空。

c)開(kāi)啟開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門(mén)、V8、V4，然后再開(kāi)V6和壓縮機(jī)電源，對(duì)開(kāi)關(guān)設(shè)備充氣。

d)當(dāng)開(kāi)關(guān)設(shè)備內(nèi)達(dá)到所需壓力值時(shí)，關(guān)V6和壓縮機(jī)電源、V8、V4、開(kāi)關(guān)設(shè)備閥門(mén)充氣結(jié)束。