Alicat流量計(jì)/流量控制器中，一般內(nèi)置有溫度、絕壓、差壓三種傳感器。部分產(chǎn)品還內(nèi)置了大氣壓傳感器用于測(cè)量表壓。

在FP-25大氣采樣流量校準(zhǔn)器中還內(nèi)置了濕度傳感器，用于補(bǔ)償空氣中的水蒸氣對(duì)流量測(cè)量的影響。

如果溫度、絕壓或差壓其中一種傳感器異常，都會(huì)對(duì)流量測(cè)量的準(zhǔn)確性造成影響，影響依次增大。

一、影響傳感器的因素

溫度傳感器影響因素

溫度傳感器內(nèi)部接線不良，劇烈震動(dòng)，或電路板損壞，或超出溫度量程使用有可能導(dǎo)致溫度顯示異常。

建議：

溫度傳感器一般不容易出現(xiàn)故障，盡量不要超出溫度量程使用，常規(guī)型號(hào)溫度量程為-10~60°C。

絕壓、表壓、差壓傳感器影響因素

1.靜壓超量程可能導(dǎo)致絕壓、表壓傳感器損壞。

2.流量超量程，或差壓超出耐受范圍，或瞬時(shí)壓差過(guò)大可能導(dǎo)致差壓傳感器損壞。

3.氣體流量計(jì)/流量控制器內(nèi)進(jìn)水、進(jìn)油或其他雜質(zhì)，可能導(dǎo)致壓力傳感器損壞、誤差變大或讀數(shù)不穩(wěn)。

4.流量控制器PID未調(diào)好導(dǎo)致閥門劇烈抖動(dòng)、流量劇烈波動(dòng)，也可能導(dǎo)致壓力傳感器損壞。

5.傳感器缺陷。

說(shuō)明：自2018年下半年以來(lái)，我們的產(chǎn)品經(jīng)歷了軟件和硬件的全面升級(jí)，使用了質(zhì)量更好、性能更穩(wěn)定的壓力傳感器配件，大大降低了傳感器的損壞概率。

Alicat流量計(jì)/流量控制器耐壓性能

建議：

1.保持流量計(jì)/流量控制器處于正常工作壓力范圍內(nèi)，防止壓力超量程、瞬時(shí)壓差過(guò)大。

2.保持介質(zhì)干燥潔凈，防止雜質(zhì)、油污、液態(tài)水進(jìn)入。

3.避免將不耐腐蝕的流量計(jì)/控制器用于腐蝕性介質(zhì)。

4.設(shè)備調(diào)試時(shí)將MFC的PID調(diào)至合適的狀態(tài)，防止因PID問(wèn)題導(dǎo)致的閥門抖動(dòng)、流量大幅波動(dòng)。

二、判斷傳感器是否正常

1.在有流量的情況下查看溫度、壓力、流量的讀數(shù)是否穩(wěn)定且正確，可與其他同類型參考流量計(jì)的讀數(shù)做對(duì)比。如果發(fā)現(xiàn)對(duì)比差異很大，有可能傳感器不準(zhǔn)確了，可進(jìn)行下一步檢查。

2.將流量計(jì)/控制器斷開氣源，斷開管路使傳感器通大氣，在常溫?zé)o流量的情況下查看溫度、壓力、流量讀數(shù)是否正常。此時(shí)溫度讀數(shù)應(yīng)比較穩(wěn)定且接近環(huán)境溫度，壓力讀數(shù)應(yīng)穩(wěn)定且接近當(dāng)前大氣壓，流量讀數(shù)應(yīng)穩(wěn)定且接近0。大部分地區(qū)大氣壓在14PSIA左右，如果流量計(jì)通大氣時(shí)壓力讀數(shù)偏離大氣壓太多，說(shuō)明絕壓傳感器可能損壞了。

3.如果在有氣流通過(guò)和無(wú)氣流通過(guò)的情況下，流量讀數(shù)均顯示為0，則差壓傳感器應(yīng)該已經(jīng)損壞。

下圖是一個(gè)絕壓傳感器損壞的流量控制器，可以看出在通大氣的情況下屏幕左上角壓力讀數(shù)明顯異常，偏離當(dāng)前大氣壓。