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中山市三易測(cè)量?jī)x器有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第4年

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質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍是個(gè)什么概念

時(shí)間:2022/11/14閱讀:885
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     質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于值(0.1 MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于值(0.3MPa),有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%F.S。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi),并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。
  部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽做氣源,氣壓很低,用普通MFC,不能正常工作。這時(shí)用戶需要向供貨商特別聲明,定制低壓降的質(zhì)量流量控制器。通常可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC,這時(shí)MFC的工作壓差范圍,也會(huì)變小。注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)汽時(shí),不能讓汽化物在MFC中結(jié)露,結(jié)露會(huì)影響MFC的正常工作。為了防止結(jié)露,可以對(duì)管路和MFC適當(dāng)加溫,但MFC的工作環(huán)境溫度通常不得超過50℃。如果用戶要MFC的工作環(huán)境溫度超過65℃以上,需要特殊購買高溫MFC產(chǎn)品。

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