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壓電平臺內(nèi)置傳感器類型對比
SGS電阻式傳感器
是通過SGS電阻應變計發(fā)生形變后電阻發(fā)生的變化來檢測位移。
彌補和解決
修正壓電元件在伸長與縮短的過程中的遲滯與蠕變。
電容式位移傳感器
電容式位移傳感器由兩個平行電極板組成，兩極板分別安裝在測量端與測量目標上，兩極板之間電容的變化轉(zhuǎn)換成位移。該傳感器具有高分辨率，高再現(xiàn)性和高穩(wěn)定性的特點。
彌補和解決
當傳感器探頭和測量目標之間的距離為一定距離時，傳感器輸出為零。 距離稱為“偏移”。根據(jù)偏移距離設(shè)置測量范圍。偏移通常相當于測量范圍的5?10％，可以選擇的測量范圍根據(jù)測量探頭的外徑而有所不同，傳感器位移分辨率通過以下公式計算：
分辨率=測量范圍/輸出電壓寬度×噪聲電平
