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哈爾濱芯明天科技有限公司

芯明天三維θx, θy偏轉(zhuǎn)/Z向升降壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)

時(shí)間:2020-1-13 閱讀:1276
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芯明天三維壓電偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)是由二維θx,θy運(yùn)動(dòng)壓電偏轉(zhuǎn)鏡和一維Z向直線運(yùn)動(dòng)壓電納米定位臺(tái)組合而成,θx, θy軸偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)43mrad/軸,Z向直線行程可達(dá)500μm,內(nèi)部集成高精度傳感器,采用柔性鉸鏈設(shè)計(jì)、無(wú)機(jī)械摩擦,分辨率高,適用于高精度大行程的掃描及定位使用。

產(chǎn)品運(yùn)動(dòng)示意圖

應(yīng)用

• 光學(xué) / 光束穩(wěn)定  

• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn) 

• 圖像處理與穩(wěn)定 

• 光學(xué)捕獲

• 激光調(diào)諧

• 光過(guò)濾 / 光開(kāi)關(guān) 

• 高精度位置調(diào)整

高分辨率、高穩(wěn)定性

該系統(tǒng)體積小巧,結(jié)構(gòu)緊湊,內(nèi)部裝配高可靠性壓電促動(dòng)器,集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷,與傳統(tǒng)的壓電促動(dòng)器相比,可提供更好的性能及可靠性,適合工業(yè)應(yīng)用。

階躍時(shí)間

θx, θy 二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)滿幅值的響應(yīng)時(shí)間約為15ms。

閉環(huán)傳感定位精度高

配置高分辨率傳感器,對(duì)位置實(shí)時(shí)檢測(cè)并反饋到壓電控制器,配套芯明天E70系列壓電控制器通過(guò)PID算法調(diào)整電壓修正位移,從而實(shí)現(xiàn)高精度定位。

技術(shù)參數(shù)

運(yùn)動(dòng)自由度:θx, θy 偏轉(zhuǎn),Z 軸升降

θx, θy 偏轉(zhuǎn)角度:43mrad@150V

Z向行程:500μm@150V

傳感器類型:SGS

θx, θy 偏轉(zhuǎn)分辨率:1μrad(~0.2")

Z向直線分辨率:20nm

閉環(huán)線性度:0.02%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.014%F.S.

空載諧頻(θx, θy ):1.5kHz

空載諧頻(Z):0.29kHz

重量:985g

芯明天壓電偏轉(zhuǎn)鏡可與芯明天任意平臺(tái)配合使用,組合成多軸精密定位臺(tái),用于多維精密直線與偏轉(zhuǎn)定位操作。

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