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壓電物鏡定位器在激光切割上的應用
壓電物鏡定位器專為物鏡聚焦顯微而設計，采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦穩(wěn)定性，物鏡定位器裝入顯微檢測或觀測裝置可帶動鏡片聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。
激光切割晶圓可分為劃片切割與穿透切割。激光經(jīng)過透鏡聚焦，再通過壓電物鏡定位器精確調(diào)整焦點的位置，使焦點準確的定位在晶圓待切割部位，使被切割部位溫度急速升高，然后使之熔化或汽化。隨著激光與被切割材料的相對運動，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。
壓電物鏡定位器可快速調(diào)節(jié)聚焦點即加工點的位置，使其在目標切割位置，聚焦行程可達110μm，分辨率可達2.5nm。該定位器為大負載Z軸運動壓電物鏡定位器，負載能力可達500g，Z軸直線運動范圍可達110μm，采用柔性鉸鏈設計機構，無摩擦，直線性好，閉環(huán)型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡。
納米掃描聚焦系統(tǒng)的設計是為了大負載、大孔徑物鏡在現(xiàn)代高分辨率顯微應用中達到z快的階躍時間。它極其堅固的設計提供了非常快的穩(wěn)定時間及掃描頻率，即使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅(qū)動器的旋轉對稱排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計，使它具有較高的剛度，同時保證了優(yōu)異的導向精度和動態(tài)性。
壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm，大負載為500g，它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場物鏡。壓電物鏡定位器可匹配多種標準鏡頭，也可以通過適配器與手動調(diào)節(jié)臺相結合使用。
