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哈爾濱芯明天科技有限公司

一維大行程抗震動(dòng)壓電納米定位臺(tái)

時(shí)間:2021-2-27 閱讀:1259
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XD603系列壓電納米定位臺(tái)是一維X向運(yùn)動(dòng)壓電平臺(tái),平臺(tái)采用抗振動(dòng)設(shè)計(jì),內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,無(wú)摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu),具有分辨率高、行程大等特點(diǎn)。

 

特性

一維X軸運(yùn)動(dòng)

行程范圍可達(dá)±165μm

抗振動(dòng)設(shè)計(jì)

高低溫版本

閉環(huán)精度高

 

大行程、高可靠性、高穩(wěn)定性

XD603為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、高可靠性壓電納米定位臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)±165μm的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)具有無(wú)摩擦、導(dǎo)向精度高等特點(diǎn)

閉環(huán)版本內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器(SGS),配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置,它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號(hào)。與E70系列控制器配套使用,具有高穩(wěn)定性。

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)XD603

運(yùn)動(dòng)自由度X

行程范圍(0~120V)±130μm

行程范圍(0~150V)±165μm

閉環(huán)傳感器SGS

/開(kāi)環(huán)分辨率12/5nm

閉環(huán)線性度0.1%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度0.04%F.S.

俯仰/偏航/滾動(dòng)1μrad

/拉力300/30N

運(yùn)動(dòng)方向剛度1.2N/μm

空載諧振頻率490Hz

/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間80/40ms

承載能力0.6kg

靜電容量24.6μF

工作溫度-40~+80℃

抗振設(shè)計(jì)半正弦15g11ms

后峰鋸齒波20g11ms

材質(zhì)鋼、鋁

重量950g

 

推薦控制器

XD603系列壓電位移臺(tái),可搭配芯明天E70系列壓電控制器使用,模擬與數(shù)字控制,體積小巧,高性能搭配。

 

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