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哈爾濱芯明天科技有限公司

3D壓電式樣品定位臺

時間:2021-3-13 閱讀:1223
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P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺*樣品校準應用的要求45mm×45mm大孔徑允許直接將物鏡放置在樣品下面。集成閉環(huán)反饋傳感器,保證長期高精度樣品調整一體式結構使得多維運動無耦合。

 

產品特性

· 三維壓電式樣品定位臺
· 中心通孔45mm×45mm
· 定位精度高
· 運動范圍可達X250/Y250/Z100μm
· 快速響應

 

閉環(huán)定位精度高

P12A.XY200Z100系列壓電納米定位臺配置高分辨率傳感器,對位置實時檢測并反饋到壓電控制器,控制器通過PID算法調整電壓修正位移,從而實現(xiàn)高精度定位。

 

帶載階躍時間

P12A.XY2Z100帶載100g,滿行程階躍時間60ms。

技術參數(shù)

型號:P12A.XY200Z100S

運動自由度XYZ

行程范圍(0~120V)XY200/Z80μm

行程范圍(0~150V):XY250/Z100μm

閉環(huán)傳感器:SGS

閉環(huán)分辨率:XY13/Z7nm

閉環(huán)線性度:XY0.1/Z0.2%F.S.

閉環(huán)重復定位精度:XY0.05/Z0.1%F.S.

空載諧振頻率:XY240/Z150Hz

承載能力:500g

靜電電容:XY7.2/Z1.8μF

材質:鋼、鋁

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