80A14機構放大式壓電促動器

時間：2023-9-20 閱讀：1315

機構放大式壓電促動器是通過疊堆式壓電陶瓷進行機構設計，與柔性鉸鏈支撐結構、放大結構及外殼結構組合成一體，將壓電陶瓷的直線位移進行放大，并在其位移的垂直方向進行輸出的促動器，且具有微位移分辨率高、穩定性強等特點。與直驅壓電促動器相比，在相同條件下，機構放大式壓電促動器產生的位移更大，出力會相對小。

由芯明天研發生產的80A14機構放大式壓電促動器，是利用鋼制外橢圓形機械放大結構設計，既可以對壓電疊堆陶瓷提供優化預緊力，也可起到保護作用，避免內部壓電疊堆陶瓷承受過大的拉力導致損壞。80A14機構放大式壓電促動器行程可達105μm，空載諧振頻率1700Hz，倒置承載能力高達50kg，產品外觀如下圖所示。

產品特點

行程可達105μm

倒置承載高達50kg

出力＞1000N

空載諧振頻率高

納米級分辨率

產品應用

• 視光學：探針掃描、光學透鏡的定位、光開關、快門/快門防抖、微掃描、晶片測試、天文學、聚焦定位、激光腔調諧、光纖的耦合和形變、FBG（光纖布拉格光柵）的形變、斬波器、干涉儀、PDP晶體切割、調制器等。

• 機械學：光纖拉伸、工具定位、取放工具、金剛石車削、橢圓活塞加工、阻尼、動態控制、新一代超聲波或聲波振動、NDT、器件疲勞度監測等。

• 流體學：比例閥、泵、測流技術、噴墨技術、注射器、液滴發生器等。

技術參數

型號	80A14
運動方向	Z
標稱行程范圍（0~120V）	84μm
行程范圍（0~150V）	105μm
開環分辨率	4nm
推力上限	＞1000N
剛度	13N/μm
靜電容量	44μF
承載能力	50kg（倒置承載）
空載諧振頻率	1700Hz
材質	鋼
出線長	＞1.5m