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壓電納米定位臺的特點說明

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壓電納米定位臺的特點說明

　　產品特點：

　　超薄的外形尺寸，超大的中空尺寸；

　　采用無摩擦高精度柔性鉸鏈導向系統；

　　內置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

　　內置精密位移傳感器進行全閉環位置反饋，開/閉環可供選擇。

　　壓電納米定位臺是采用壓電陶瓷驅動的Z向納米級精密壓電納米定位臺，壓電掃描臺內部使用無摩擦、無回差的柔性鉸鏈導向結構，壓電定位臺采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，且具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點，壓電平臺內置精密位移傳感器進行全閉環的位置反饋，確保了壓電納米定位臺具有的運動控制精度，定位精度、分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時間僅為毫秒量級。中空式超薄設計，且中央通孔較大，可更好的集成于顯微及掃描系統中。

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