邁浦特機械(四川)有限公司
半導體封裝模壓加熱模溫機是為半導體器件(如 IC 芯片、功率器件、傳感器)封裝模壓工藝研發的專業溫控設備,核心作用是為模壓模具提供精準穩定的加熱環境,確保封裝材料(如環氧塑封料)充分固化成型。在半導體封裝模壓過程中,溫度控制直接影響塑封料的流動性、填充性及固化反應程度:溫度過低會導致塑封料流動性差、填充不充分,出現氣泡、缺膠等缺陷。馬工(企微):①⑨①⑧②②0④④⑦⑥
高精度加熱溫控系統:采用電磁感應加熱與熱板傳導復合技術,配備進口陶瓷加熱模塊,可實現 45℃-400℃寬域精準控溫(精度 ±0.5℃),滿足不同封裝類型(如 QFP 封裝需 175℃±1℃、BGA 封裝需 190℃±0.5℃)的模壓需求。針對模壓模具的溫度均勻性要求,通過三維熱場模擬優化加熱布局,確保模具型腔溫差≤±1℃,塑封料固化度達 98% 以上。相比傳統加熱設備,封裝體尺寸精度偏差降低 40%(控制在 ±0.05mm 以內),引腳共面度提升 30%,有效減少因溫度問題導致的封裝缺陷。
智能動態調節技術:搭載高精度鉑電阻溫度傳感器(精度 ±0.1℃)與高速 PLC 控制系統,實時采集模具溫度、模壓壓力及塑封料注射速度數據,實現加熱功率的動態匹配。溫度響應速度≤0.3s,升降溫速率可達 5℃/s,能快速跟隨模壓工藝的溫度階躍需求(如預熱、恒溫模壓、固化保溫)。操作人員通過 12 寸無塵觸摸屏預設多段溫度 - 壓力聯動曲線,系統支持與模壓機臺聯動,實現加熱與模壓節拍的精準同步,滿足批量封裝的自動化生產需求。
潔凈與安全設計:與模具接觸部件采用無磁不銹鋼材質,表面粗糙度 Ra≤0.02μm,符合 ISO 14644-1 Class 5 級潔凈室標準,避免微粒污染(≤1 個 /ft3@0.1μm)。設備外殼采用 316L 不銹鋼,表面電解拋光處理,具備防靜電功能(表面電阻 10?-10?Ω)。配備超溫聯鎖保護(超設定值 5℃立即斷電)、過流保護、漏電保護等安全機制,符合 SEMI S2-0712 半導體設備安全標準,適應 100 級潔凈室的嚴苛環境。
IC 芯片封裝企業:用于 IC 芯片(如 5G 芯片、AI 芯片)的模壓封裝,通過精準控溫確保塑封料填充芯片間隙,封裝良率提升至 99% 以上,滿足芯片對高可靠性、小型化的需求,是 IC 封裝量產的核心溫控設備。
功率器件制造企業:適配功率半導體(如 IGBT、MOSFET)的模壓封裝,通過穩定控溫提升封裝體的散熱性能(熱阻≤0.8℃/W),保障功率器件在高負載下的運行穩定性,助力新能源汽車、工業控制領域對大功率器件的應用。
傳感器封裝企業:在 MEMS 傳感器、光電傳感器的模壓封裝中,通過精準溫度控制減少封裝應力,確保傳感器測量精度(誤差≤±0.1% FS),廣泛應用于智能汽車、消費電子領域。
半導體封裝研發機構:為新型封裝技術(如 SiP 系統級封裝、Chiplet 異構集成)的模壓工藝研發提供可控溫環境,研究不同溫度對封裝體可靠性(如熱循環、濕熱測試)的影響,助力封裝技術突破。
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