用途：
測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像、目視與奈米高度測量多用的高精度、高效率測量儀器。該產品具有電視成像與目視光學兩套瞄準系統，可人工觀察金屬表面的金相組織結構，是集光、機、電、算、影像于一體的顯微鏡。該產品以二維測量為主，也可作三維輔助測量，廣泛應用于電子組件、精密模具、塑料、PCB加工方面、鍍膜厚度、手機玻璃等工業領域。
特點：
1. Z軸光學尺分辨力為0.1μm
2. X、Y軸採用空氣軸承、花崗石導向，保證了機械系統的精確穩定，提高了測量精度
3. X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高、速度快，運行平穩
4. 同軸光/底光測量
5. 內建偏光測量光學模塊
6. 自主開發QMS3D-M軟體，高清晰進口1/2"彩色攝像機
7. 可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，可適應復雜工件的測量
8. 可實現Z軸自動對焦
9. 具有偏光和DIC檢測功能
10. 可搭配白光奈米檢測模塊測量奈米級厚度
技術規格參數： | 型號 | MTM-6090H |
| 工作臺 | 玻璃臺尺寸(mm) | 1070 x 640 |
| X、Y軸運動行程(mm) | 600 x 900 |
| Z軸行程(mm) | 200 |
| 外形尺寸(mm) | 1800 x 1350 x 1450 |
| 儀器重量(kg) | 1500 |
| X、Y軸光學尺分辨力(μm) | 0.5 |
| Z軸光學尺分辨力(μm) | 0.1 |
| 示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測量長度，單位mm) |
| 物鏡放大倍數誤差 | 包括畸變在內的放大率誤差≦0.08% |
| 落射照明光源 | 可調高亮度鹵素燈 |
| 底光照明光源 | 可調高亮度LED燈源 |
| | 目視系統 | 影像系統 |
| 物鏡放大倍數 | 5X、10X、20X、50X(可選配100X) | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 |
| 目鏡放大倍數 | 10X雙鏡筒 | 1/2"CCD攝像機 |
| 視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5"顯示器，分辨率1440 x 900) |
