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質量流量計用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。他們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴撒、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、色相譜儀及其它分析儀器。
D07系列質量流量控制器和質量流量計具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等特點，其操作使用方面，可任意位置安裝，并便于與計算機連接實現自動控制。
D07系列質量流量控制器和質量流量計一般與D08系列流量顯示儀等產片配套使用，控制器與顯示儀之間用專用電纜連接。
項目/型號 | D07-11B | D07-11BM |
流量規格 | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM | （0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM |
準確度 | ±1%F.S | ±1.5%F.S |
線性 | ±（0.5~1）%F.S | ±（0.5~1.5）%F.S |
重復精度 | ±0.2%F.S | ±0.2%F.S |
響應時間 | 電特性：10sce | 10sce |
工作壓差范圍 | （0.2~0.8）MPa | 氣壓降＜0.01MPa |
耐壓 | 10MPa | 10MPa |
工作環境溫度 | 5℃~45℃ | 5℃~45℃ |
輸入輸出信號 | 0V~+5.00V | 0V~+5.00V |
電源 | +15V 50mA | +15V 50mA |
重量 | 1.1Kg | 0.92Kg |
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