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單晶硅諧振式傳感器的特點

時間:2013/8/30閱讀:3252
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       單晶硅諧振式傳感器是一塊單晶硅芯片上采用微電子機械加工技術,在單晶硅芯片上制成兩個*一致的H形狀的諧振梁,并以一定的頻率產生振動。其諧振頻率取決于梁的長度和張力,其梁的長度已經確定,而張力是隨壓力變化而變化。從而把壓力的變化轉換成頻率的變化,對差壓采用頻率差分技術,并將頻率差信號直接輸出到CPU進行運算和A/D轉換。
         單晶硅壓力變送器具有如下特點:  
1、精度高:由于傳感器使用的是單晶硅諧振式傳感器,其優良的性能保證了測量的精度,變送器的精度可達到±0.065%,這是其他變送器*的。  
2、穩定性好:由于電路采用了特性修正存貯器,對采集到的溫度、靜壓數據通過CPU運算,修正因此產生的測量漂移。同時,智能轉換器采用了大規模集成電路,并將放大器AISC化,減少了零部件,提高了放大器的自身可靠性,使儀表具有非常可靠的穩定性和重復性。 
3、靜壓特性好:由于兩個諧振梁加工工藝精密,尺寸*一致,且處于同一表面,故在受壓后產生的頻率變化是相同的,其差值保持不變。因此,在靜壓引入儀表時對測量幾乎沒有影響,保證了測量的精度。  
4、具有良好的單向受壓特性:變送器具有非常優良的承受反復交替的高壓側、低壓側反復受壓的能力,其數值可大16Mpa。其受壓時間可達30S。其優點是安裝時可以省去平衡閥,節省投資。另一方面可以防止因誤操作或導壓管堵塞造成變送器單向受壓損壞,可以避免因此給企業造成的損失。  
5、具有較寬的測量范圍,但衡量一種變送器是否具有較寬的測量范圍外,還需要考慮變送器的各部分材質和許多附加規格是否能一機多用,EJA變送器在這一點上顯示了較好的*性,其接液部件材質、本體和排氣閥材質均采用JISSUS316,膜盒材質采用JISSUS316L(膜片采用的是哈氏合金C-276),這樣的高耐腐蝕材質,大大提高了變送器的通用性。因此,寬的量程比,通用性的接液部件材質,附加規格的減少,可使變送器的實用性和通用性得以提高,給設計者和使用者帶來方便。同時,也減少了備表的數量和種類,為企業減少了維護費用。  
6、方便的組態能力和自診斷功能,另外,對變送器的自診斷功能可以顯示變送器的運行狀況和故障信息,從而,指導檢修維護人員對故障的分析和判斷。

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