臭氧通過不銹鋼管道被輸送到煙道分配擴散系統(tǒng)，通過均勻分布的分配器被注入到含有氮氧化物的原煙氣反應系統(tǒng)中。反應系統(tǒng)提供臭氧的均勻分布，并且足夠混合，使之急速反應。因臭氧與NOx的反應速度極快，在反應器的設計時不需考慮很長的停留時間，使臭氧與氮氧化物充分反應，將不溶性的NO氧化成為NO2。
臭氧的在均勻分配器中均勻分布，與煙氣中的氮氧化物充分接觸碰撞進行反應是整個脫硝系統(tǒng)的核心和關鍵。一般需要進行反應器的流場模擬(CFD)和化學反應模擬(CKM)，根據模擬的情況結合以往的工程經驗進行優(yōu)化設計，以確保脫硝的效率。
臭氧氧化反應過程十分激烈, 同時在脫硫塔位置亦會被噴淋漿液重復性洗滌吸收, 即便是當下臭氧沒有和NO充分反應,
不過在隨后的工藝環(huán)節(jié)中還是能夠順利地分解出氧氣, 因此zui終向大氣排放出的臭氧可以忽略不計。
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