濃度：指臭氧生成濃度，單位：mg/L,g/m³，ppm

氣源：指臭氧發生器的進氣氣體，有氧氣源與空氣源之分，同等產量情況下，氧氣源產量高，濃度高。

冷卻方式：臭氧發生器有水冷和風冷之分，水冷臭氧發生器的冷卻效果好于風冷。

露點：用于標示氣源的濕度，臭氧發生器工作時，氣源的濕度不能太高，否則影響臭氧發生器的使用壽命。露點一般為-60℃-80℃。

一體機：指集成了氣源處理系統的臭氧發生器，氣源系統包括：空壓機、過濾器、干燥機、PSA制氧機（氧氣源），某些廠商的一體機未配置干燥機，但為了臭氧發生器的壽命及運行效果考慮，我們建議配置干燥機。

放電方式：指臭氧發生器的電源頻率區分，有工頻、中頻、高頻之分，工頻為臭氧發生器直接接市電，方式簡單，效率低下，中頻指電源的頻率在500Hz以下，缺點同上，高頻為現在工業級臭氧發生器的主流方式。

放電介質：目前放電介質有鈦金管、搪瓷管、石英管。搪瓷管為大部分國內廠家使用，缺點是使用搪瓷管的臭氧發生器容易衰減，使臭氧發生器達不到效果，目前隨著技術的提升，石英管因其高介電常數逐漸被一線廠家使用，缺點是易碎，但衰減率低。

溫升：臭氧發生器長時間運行冷卻水溫度的升高，溫升越低，證明臭氧發生器的效率越高，系統越穩定，通常溫升在3-10℃