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勻膠機/旋轉涂層機 LDX-TA-280Q

來源:山東利達信儀器儀表設備有限公司   2017年11月01日 19:44  

產品簡介:

主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。

適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。

可在科研,教育,生產中應用。

"spin coater " 行業稱:勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉涂膜機 旋涂機

產品型號:

TA-280Q勻膠機  工作主機獨立且可臺面嵌入式安裝,控制器分置。

TA-280Q勻膠機: 工作腔內徑D290mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。

 

主要特點:

*高精度26程序控制器:

可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程;

每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;

加速度(及負加速度),可設置。

中英文兩套操作系統供選擇。

操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調試并存儲程序。

設置程序:標準通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。

無需培訓,上手就會操作。

*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。

的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。

*工作腔可氮氣保護。

我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計,對所有的環境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,

這一點*針對科研實驗的苛刻要求而開發。

*真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。

*中心結構定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。

主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。

小于3英寸可使用定制真空吸盤。

*卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。

*真空吸片系統更安全:

安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,必須在安全的真空度下,

電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統保護性停機。

*伺服電機,轉速精度更高:300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 % Z高轉速10000轉/分

*設備所用的天然聚丙烯(NPP)材質,食品級衛生材料,易清潔,材質性能穩定,綠色環保型實驗室的Z佳選擇。

技術參數:

單相交流電源:220V.50Hz

電機功率:200W

轉數:300 - 10000 轉/分。

可設定時間:1---9999秒。

標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 400mm深 x 300 mm高 ,

可選配件

1. 特殊真空吸盤
2. 各種卡盤

3. 60升/分無油真空泵

4.滴膠機

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