臭氧和紫外光組合氧化:臭氧屬于強氧化劑，具有較高的電位，可以氧化氨基酸以及芳香族物質，但是單純的臭氧氧化時，處理效率相對較低，無法滿足廢水的處理需求，因而在處理過程中，其僅應用于給水處理等環節。研究結果表明，在處理含油廢水的過程中，采用臭氧和紫外光組合氧化法具有較高的應用價值，在反應初期，效果并不明顯，而在經過一段時間的反應后，則可以明顯提升反應速率，反應機理在于通過組合反應，可以形成羥基自由基，從而實現對有機物的氧化分解。

臭氧、紫外光和過氧化氫組合法:在處理廢水的過程中，將臭氧、紫外光以及過氧化氫等方法聯合使用，能夠較好的提高廢水中有害分子的處理效率。這種氧化工藝與紫外光和臭氧組合法基本相同，在紫外光的輔助反應下，可以將廢水中的有害分子分解成為自由基，降低廢水中的色度并清除有害物質，具有較高的應用價值。

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