導(dǎo)讀：介紹了臺階儀的工作原理和常用領(lǐng)域后，本文主要介紹日本小坂研究所生產(chǎn)的Kosaka臺階儀ET200A，包括其整體結(jié)構(gòu)，傳感器設(shè)計原理與主要優(yōu)勢，同時和業(yè)界已有的臺階儀進行對比。

我們在篇介紹臺階儀的文章中講到：“臺階儀的工作原理是：測針以十分微小的力輕輕劃過樣品表面，樣品表面微米甚至納米級別的高低起伏通過與測針連接的傳感器得到千百萬倍的放大，然后被轉(zhuǎn)換成電子信號，輸入到電腦軟件中，最終以數(shù)字和圖形的數(shù)據(jù)形式展現(xiàn)出來，供技術(shù)人員查看。”

這一原理的實現(xiàn)，是通過臺階儀本體、控制器和PC端協(xié)作完成的。下圖是Kosaka臺階儀ET200A型號，左側(cè)上方為PC,左側(cè)下方為控制器，右側(cè)為臺階儀本體，三者之間彼此有相對應(yīng)的數(shù)據(jù)線連接。

臺階儀的測針劃過樣品表面后，樣品表面微細形狀的變化會通過連接在探針上方的差動變壓傳感器進行放大。這些變化的電子信號會通過數(shù)據(jù)線從臺階儀本體的傳感器傳輸?shù)娇刂破鳎購目刂破鱾鬏數(shù)絇C端的測量軟件中，最終以圖形和數(shù)據(jù)的形式展現(xiàn)出來。

臺階儀測量結(jié)果精度如何，跟其傳感器的工作原理息息相關(guān)。目前業(yè)界的臺階儀全都是接觸式測量，其工作原理大概有兩種：直動式運動軌跡與杠桿式運動軌跡，兩種不同的運動軌跡，也決定了不同的精度和重現(xiàn)性。這一點，我們在下一篇有關(guān)臺階儀的文章中展開講解。

日本進口的KOSAKA 臺階儀，有ET200A，ET4000系列和ET10000，分別對應(yīng)：學(xué)術(shù)和科研單位的研發(fā)測量（例如工程系、材料系和機電系的材料測量需求），面板、光伏、半導(dǎo)體等產(chǎn)業(yè)工廠自動化測量和超大型工廠全自動化測量的需求。

關(guān)鍵詞：臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀