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直線度對臺階儀測量結果的影響

來源:質朋儀器貿易(上海)有限公司   2021年10月14日 17:55  

臺階儀的直線度是什么?有什么作用?如果知道花費幾十萬元購買的臺階儀,測出來的結果有可能不準,自己所看到的圖形和數據,也都是經過測量軟件算法處理之后想讓你看到的樣子,用戶想必不會滿意。尤其在學術科研領域,極小的數據差別和不理想的重現性變化,都有可能會影響到研究結果的可信度。如果您是科研領域的臺階儀用戶,相信這篇文章多少可以為您提供一些可供參考的資料。





臺階儀作為接觸式的精密測量設備,其測量方式往往是探針接觸樣品表面后,沿X軸方向測量一定的長度,然后評估這段長度上出現的臺階高度。這段距離可長可短,一般來說,對精度和分辨率的要求越高,距離應盡可能設置的越短。此外,也要考慮樣品工藝和制程是否優良。




如果沒有直線度的保證,測量長度越長,測量結果失真就越嚴重。就好像在黑板上畫一條線,畫10厘米,大家都能畫得很直,和黑板的上下底邊保持平行,但如果是50厘米,100厘米,500厘米呢?對設備來說,道理也是一樣的。測量長度越長,平臺移動軸保持在一條直線上的難度就越大,極小的偏移也會導致測量位置不理想。更何況相對于2D的黑板來說,實際測量中的偏移是3D的,以理想的移動軸直線為軸心線而構成的整個圓柱,都是可能發生偏移的方向。下圖中,是沒有直線度保證設備的實際測量結果舉例。





株式會社小坂研究所專注于精密測量設備的制造,對移動軸直線度的保證有著自己的核心技術。Kosaka ET系列臺階儀,能夠達到100mm的測量長度上,其直線度的偏差量小于0.2um——也就是說,如果偏移量是以移動方向為軸心線形成的圓柱,小班研究所可以將這個圓柱做到高度為100,000um,但半徑小于0.2um的程度,從而保證還原樣品表面的真實形貌和臺階高度。





總而言之,直線度是鮮為人知但卻對測量結果有重要意義的一項技術參數。如果您的研究成果或研發產品對這一指標有較高標準,歡迎您致電質朋儀器,我們將為您提供專業的儀器選購咨詢、免費的測樣服務和優質的售后服務。質量向上,朋賢友達,期待您的垂詢!




日本進口KOSAKA 臺階儀,有ET200A,ET4000系列和ET10000,分別對應:學術和科研單位的膜厚測量(如工程系、材料系和機電系材料測量需求),面板、光伏、半導體等產業工廠自動化測量和超大型工廠全自動化測量的需求。



關鍵詞:臺階儀 | 膜厚儀 | 薄膜測厚儀 | 段差分析儀



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