導(dǎo)讀：FP3030是日本精密測量儀器行業(yè)產(chǎn)、學(xué)、研三方面緊密合作的研究成果，為微細(xì)深孔測量帶來了可靠而高效的解決方案。

在精密測量領(lǐng)域，有一項特殊的測量任務(wù)，無論對接觸式探針測量還是非接觸式光學(xué)測量都是極大的挑戰(zhàn)——“深孔”測量。面對極小寬深比的深孔，接觸式測量往往會因為測針直徑過粗或者針尖角度過大的限制，無法深入測量，或不能測量側(cè)壁粗糙度；非接觸式光學(xué)測量則會因為光的干涉、無法對焦、無法收回足夠的光量與數(shù)據(jù)點等原因而檢測失敗。基于特點的相似性，溝槽的測量也面臨此困境。與此同時，帶有深孔和溝槽的工件和產(chǎn)品分布廣泛，是半導(dǎo)體、汽車等行業(yè)生產(chǎn)中難以避開的環(huán)節(jié)，具有相當(dāng)大的潛在需求。針對這一測量難題，株式會社小坂研究所和日本大學(xué)、研究院緊密合作，成功研發(fā)了微細(xì)孔3D形狀測定機FP3030，現(xiàn)已正式投入生產(chǎn)并面向市場。

FP3030使用高彈性光纖維測針，結(jié)合激光、三棱鏡與光電二極管共同構(gòu)成傳感測量裝置。未測量狀態(tài)下，光電二極管受光量均一；測量狀態(tài)下，測針進(jìn)入深孔，以圓周型軌跡接觸深孔側(cè)壁采集數(shù)據(jù)，由于測針位置的變化，光電二極管受光量發(fā)生變化，F(xiàn)P3030由此測量出深孔內(nèi)部的表面形貌。

藉由質(zhì)輕且纖細(xì)的高彈性光纖維測針，F(xiàn)P3030能以微小的測定力測量直徑最小10um，300um的深孔內(nèi)部形狀，垂直分辨率達(dá)到10nm。具體測量應(yīng)用包括：①深孔的內(nèi)徑、外徑、深度；②溝槽的內(nèi)寬、外寬、深度、側(cè)壁形狀。同時，F(xiàn)P3030測量軟件具有真圓度、圓柱度、直徑、臺階、槽寬、直角度、粗糙度多種參數(shù)解析功能。

針對孔徑為80um的微細(xì)深孔，F(xiàn)P3030測量其內(nèi)徑的重復(fù)精度在20nm以下：

孔徑10um，孔間距為20um，深度為0-140um的微細(xì)深孔測量實例：

以下是FP3030微孔形狀測量的部分實際應(yīng)用舉例：（一）半導(dǎo)體封裝TSV（Through Silicon Via，硅通孔技術(shù)）的側(cè)壁粗糙度測量，孔徑為10um，深度為100-500um；（二）汽車燃料噴嘴口形狀測量，孔徑10-100um；（三）打印機油墨噴嘴口內(nèi)部形狀測量，孔徑為數(shù)十微米；（四）紡織機械線嘴內(nèi)部形狀測量，孔徑10-100um。

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