電容壓力傳感器結構原理圖

電容式差壓壓力傳感器的核心部分如上圖所示，將左右對稱的不銹鋼基座3和3的外側加工成環狀波紋溝槽，并焊接上波紋隔離膜片1和4.基座內側有玻璃層5，基座和玻璃層都有孔。玻璃層內表面磨成凹球面，球面除邊緣部分外鍍以金屬膜6，此金屬膜層有導線通往外部，為電容的左右定級板。左右對稱的上述結構夾入并焊接彈性膜片，即測量膜片7，為電容的動機板。測量膜片左右空間被分隔成兩個室，故有兩室結構之稱，國外也有一室結構的傳感器，其左右兩室有管道想通。    在測量膜片左右兩室中充滿硅油，當左右隔離膜片分別承受高壓ph和低壓pl時，硅油的不可壓縮性和流動性便能將差壓△P=PH-PL傳遞到測量膜片的左右面上。因為測量膜片在焊接前加有預張力，所以當常壓△P=0時十分平整，使得定極板左右兩電容的容量*相等，即CH=CL，電容量的差值為零。在有差壓作用是，膜片發生變形，也就是動極板向低壓側定極板靠近，同事遠離高壓定極板，使得CL＞CH?？梢?，這就是差動電容形式的壓力或差壓傳感器。

       采用差動電容法的好處是，靈敏度高，可改善線性，并可減少由于介電常數ε受溫度影響引起的不穩定性，這才是羅斯蒙特變送器一直穩定運行的原因。