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全息光柵也是目前使用很多的光柵,當(dāng)兩束相干的平行光束交會(huì)時(shí),會(huì)形成一系列平行、等距的直線狀干涉條高能量、高單色性的激光和高質(zhì)量的光致抗蝕劑的發(fā)展,使得利用光干涉條紋制作衍射光柵的設(shè)想得以實(shí)現(xiàn)。
全息光柵的特點(diǎn):
a.工作時(shí)不會(huì)產(chǎn)生鬼線和伴線,這是廣大使用者最歡迎的。
b.不存在刻劃光柵刻槽的微觀不規(guī)則或毛刺等缺陷,所以雜散光遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于刻劃光柵的雜散光。
c.適當(dāng)改變制作條件,就可制作成消像差的全息光柵。
d.可以制作任意尺寸的全息光柵。
e.制造周期短。
f.制造成本低。
一般來(lái)講,
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