超純水設備是采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導電介質幾乎*去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。
影響超純水器的指標有哪些？
（1）水質監控
水質監控是產水品質的重要保證。高品質的純水儀器必須包括實時在線的電導率（電阻率）檢測儀和溫度監測。目前利用高精度的電導率儀（或電阻率儀）來測定超純水的離子水平已經成為了超純水器的標準配置。這里要注意的是，因為要測定的電導率值非常低（電阻率很大），所以一定要留意電導率儀的精度是不是能達到要求，一般要求電導率儀的電池常數 0.01 cm-1（參加GB/T6682相關要求）。并可準確顯示溫度補償的電阻率。同時還要具有水質不合格自動報警功能，可以根據用戶的實際需要更改水質報警參數。
（2）微生物（細菌）指標
微生物污染是常常會被忽略的一個問題，微生物污染一旦出現，將會迅速遍及到整個超純水系統，并且逐漸形成菌膜，很難去除。它們不斷向水中釋放有機物和離子，造成純水的二次污染。使用這樣的水進行實驗，會對實驗結果有很大的影響。如進行離子色譜和液相分析時出現鬼峰。
為了防止微生物的污染，應該選擇無死體積、采用循環管路、帶有紫外殺菌器、終端除菌過濾器的實驗室超純水器，可以很大程度的抑制微生物在系統內的生長和增殖。
（3）使用簡單、便捷
一個儀器使用是否方便是衡量一個儀器好壞的重要標志。對于純水機來說，衡量它使用方便與否，還看能否讓操作人員只操作取水鍵，而不需其它額外的操作。
（4）維護方便
超純水器中所使用的離子交換樹脂，活性炭，終端過濾等過濾柱都是有一定的使用壽命的，需要對其進行定期更換，才能確保水質達標。很多人認為離子交換樹脂是可以不斷再生，循環使用，其實不然。過期或再生的樹脂會向水中釋放出高濃度的污染物，再生樹脂重復使用也會導致樹脂顆粒的破損，向水中釋放出顆粒和有機物，加速微生物的生長。所以儀器本身自帶的預警功能非常重要，它可以在耗材耗竭，水質*變壞以前，提醒您準備更換耗材。
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