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超純水清洗步驟占據芯片生產總步驟的三分之一

來源:遼寧萊特萊德環境工程有限公司   2022年06月30日 09:21  

  芯片已經成為我們*的物件,在日常生活中有著非常廣泛的應用,越來越多的高科技產品都在使用芯片,那么芯片到底是什么東西?芯片又被稱為微電路、微芯片、集成電路,它其實是半導體元件產品的統稱。

  “點石成芯”會主要經歷硅片制造、晶圓制造、芯片封裝和芯片測試幾大流程。提起芯片制造,大家想到的一定是光刻機,作為芯片制造的核心設備,光刻機缺口成為了無數國人的痛。

  然而,光刻機雖然關鍵,但卻僅參與到芯片光刻這一個環節之中。與光刻相對比,清洗步驟貫穿于芯片生產的各個環節,清洗的效果直接影響到芯片良品率。

  清洗步驟占據了整個芯片生產總步驟的三分之一。清洗過程離不開清洗用的超純水。為什么一定要用超純水呢?隨著芯片的精密度越來越高,生產環節對于水質的要求也越來越高,為了保證生產出超大規模的集成電路除高純原材料、高純氣體、高純化學藥品外,超純水成為了重要因素之一。

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  超純水是指電阻率達到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外,幾乎沒有什么雜質,更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物,當然也沒有人體所需的礦物質微量元素,也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。

  那么,如此高質量的超純水該如何生產呢?

  傳統的超純水生產工藝是使用陰陽樹脂交換設備。該方法的缺點是樹脂在使用一段時間后往往需要再生。

  經過多年的實踐,萊特萊德超純水系統是將反滲透水處理設備、電去離子(EDI)設備和拋光混床相結合制備超純水的設備。這不僅是一種制備超純水的新技術,也是一種環保、經濟、發展潛力巨大的超純水制備工藝。

  超純水設備可連續穩定生產優質超純水,不會因樹脂再生而停止運行。設備結構設計緊湊,占地面積小,可為企業節省大量空間。與傳統方法相比,超純水設備具有許多優點,可以連續穩定地制備高質量的超純水。

  芯片的生產制造離不開超純水,超純水的生產自然也離不開超純水設備。萊特萊德采用靶向離子交換系統針對超純水中難處理的硼及其他離子定向去除同時還能連續、穩定地生產高純度的超純水。在晶圓、電子芯片、集成電路、精密儀器、電鍍涂裝、試劑稀釋、氟化工等領域多有應用。


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