真空鍍膜機的工作原理主要包括哪些

來源：上海赫哲真空設備有限公司 2025年03月27日 07:31

真空鍍膜機是一種能夠在真空環境中，將金屬、合金或其他材料蒸發、濺射或化學氣相沉積到基材表面形成薄膜的設備。真空鍍膜的核心是通過物理或化學方式使材料在氣相中轉變為固體，在基材表面形成膜層，膜層的厚度可以控制在納米到微米級別。

真空鍍膜機的工作原理主要包括以下幾個步驟：

1. 真空環境的創建：在鍍膜開始之前，首先需要將鍍膜室內的氣壓降低到真空狀態。這通常通過抽真空泵實現，泵送過程中會將空氣分子排出，從而減少氣體碰撞，提高后續工藝的效率和效果。

2. 材料的蒸發或濺射：

蒸發鍍膜：在真空條件下加熱待鍍膜材料，使其蒸發形成氣相。常見的蒸發材料包括金、銀、鋁等金屬。這些蒸汽分子在擴散的過程中會以隨機的方式碰撞到基材表面并冷凝，形成薄膜。

濺射鍍膜：利用高能粒子轟擊待鍍膜材料（靶材），將靶材原子或分子濺射出來并沉積到基材上。此方法適用于高熔點材料及氧化物材料，且可以獲得質量更好的薄膜。

3. 沉積過程的控制：在鍍膜過程中，需要**控制沉積速率、溫度、氣體流量等參數，以確保膜層的均勻性和附著力。現代化的真空鍍膜機通常配備有閉環反饋系統來實時監測和調整這些參數。

4. 冷卻與后處理：鍍膜完成后，基材會被冷卻至室溫，并可根據需求進行后處理，例如熱處理、刻蝕等，以進一步改善膜層性能。

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