超高頻檢測局部放電是最近研究出的針對電力設備的局部放電進行測量分析的新手段。它主要是對電纜或者高壓設備發生局部放電現象時伴隨的高頻或者超高頻信號的成分進行測量，從而間接地得到局部放電的相關信息，再來定位和檢測局部放電。

超高頻測量的電磁信號的頻帶一般在300-3000MHz，多數的干擾信號和噪聲信號躲在300MHz以下，所以該診斷方法能夠有效屏蔽這些低頻噪聲信號。該診斷方法不是采用常規的視在放電量來表示電力設備局部放電的嚴重程度，而是用dB來表征電力設備局部放電水平。相關的試驗表明，局部放電產生的超高頻的相關頻譜特征和故障源的形狀大小以及絕緣介質的性能有密切的關系。當電力設備結緣介質的強度比較高時，放電過程中就會伴隨著形成較高頻率的電磁波信號。放電脈沖所呈現的圖像的上升沿較為陡峭，一般僅為幾ns。該診斷方法采用的是微帶天線傳感器，現在還處于理論研究的階段，沒有投放到工程中，因此超高頻檢測法還沒有廣泛的用于檢測電力設備的局部放電。