今日煒盛科技知識科普為您講述一下氣體傳感器中的新秀-”MEMS傳感器“，看看這顆小明星是如何發(fā)展壯大起來的，未來的又有多少呢？

MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。

MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

MEMS傳感器種類日益增多，有較為成熟的MEMS壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀、MEMS流量傳感器、MEMS溫度傳感器， MEMS濕度傳感器、還有斬露頭角的MEMS氣體傳感器等等，產(chǎn)品具有廣闊的市場應(yīng)用空間，涉及汽車、電子、機(jī)械、材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)療、工業(yè)、民用消費(fèi)類產(chǎn)品等各個領(lǐng)域。

隨著信息技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展，就像目前表現(xiàn)突出的智能手機(jī)和平板電腦的巨大市場需求，MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展進(jìn)入快車道， MEMS傳感器會從現(xiàn)有的分立式傳感器應(yīng)用逐步向集成式、陣列式整體應(yīng)用方案升級過渡。專家預(yù)計: 2020年MEMS產(chǎn)業(yè)將超過200億美元！

業(yè)內(nèi)人士都非常看好基于MEMS技術(shù)的化學(xué)/氣體傳感器，一致認(rèn)同將成為未來的“明星”產(chǎn)品。新一代低功耗的MEMS氣體傳感器，有別于傳統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器，不僅尺寸小，重量輕，而且功耗也非常低，成本會更低，新的產(chǎn)品技術(shù)打破了傳統(tǒng)氣體傳感器的應(yīng)用格局，未來在智能手機(jī)和可穿戴設(shè)備領(lǐng)域都將廣泛采用，甚至?xí)淖冊袀鹘y(tǒng)氣體傳感器的應(yīng)用模式。

那么，MEMS氣體傳感器與傳統(tǒng)的氣體傳感器具體的區(qū)別體現(xiàn)在哪呢？

一張圖清楚讓你清楚明白