電容式傳感器的特點

電容式傳感器是將被測量的變化轉換為電容量變化的一種裝置，它本身就是一種可變電容器。由于這種傳感器具有結構簡單，體積小，動態響應好，靈敏度高，分辨率高，能實現非接觸測量等特點，因而被廣泛應用于位移、加速度、振動、壓力、壓差、液位、等分含量等檢測領域。

（1） 結構簡單，適應性強

　　電容式傳感器結構簡單，易于制造，精度高;可以做得很小，以實現某些特殊的測量，電容式傳感器一般用金屬作電極，以無機材料作絕緣支承，因此可工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環境中，能承受很大的溫度變化，承受高壓力、高沖擊、過載等;能測超高壓和低壓差。

（2） 動態響應好

　　電容式傳感器由于極板間的靜電引力很小，需要的作用能量極小，可動部分可以做得小而薄，質量輕，因此固有頻率高，動態響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特適合于動態測量;可以用較高頻率供電，因此系統工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數，如振動等。

（3） 分辨率高

　　由于傳感器的帶電極板間的引力極小，需要輸入能量低，所以特別適合于用來解決輸入能量低的問題，如測量極小的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏，分辨力非常高，能感受0.001μm ，甚至更小的位移。

（4） 溫度穩定性好

　　電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數低的材料，又由于本身發熱極小，因此影響穩定性也極微小。

（5） 可實現非接觸測量、具有平均效應

　　如回轉軸的振動或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等，采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。