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詳解磁控濺射技術2023/03/22
一、磁控濺射的工作原理：磁控濺射是一種常用的物理氣相沉積（PVD）的方法，具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好，成分接近靶材成分等眾多優點。磁控濺射的工作原理是：在高真空的條件下充入適量的氬氣，在陰極（柱狀靶或平面靶）和陽極（鍍膜室壁）之間施加幾百K直流電壓，在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電，電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞，使氬氣發生電離（在高壓作用下Ar原子電離成為Ar+離子和電子），入射離子（Ar+）在電場的作用下轟擊靶材，使得靶材表面的中性原子或分子獲得
NRE-4000型RIE-HCP系統有什么優勢2022/07/28
我們的優勢｜NRE-4000型RIE-HCP系統NANO-MASTERNRE-4000型RIE-HCP系統，用于高速刻蝕硅、SiO2和Si3N4基片，通過配套HCP高密度中空陰極等離子源，系統可以支持RIE和RIE-HCP應用，提供廣泛的應用。眾多的優勢配置，使得NRE-4000型系統具有許多優勢：?超高的薄膜均勻性?良好的粘附力?超凈的沉積（高真空支持）?出色的工藝控制?高度的可重復性（計算機全自動工藝控制）?易使用（可直接調用編好的工藝程序）?運行可靠（所有核心組件均帶有保護）?低維護（完整
我們的優勢｜離子束刻蝕2022/07/25
我們的優勢｜離子束刻蝕NANO-MASTER的離子束刻蝕系統有很強的適應性，可以根據不同的應用建立不同的結構，不同的樣品臺和離子源配置可實現不同的應用范圍。系統中的樣品臺可實現正負90°傾斜、旋轉、水冷和背氦冷卻。NM成熟的技術可控制基片溫度在50℃以內。通過傾斜和旋轉，深溝可切成斜角，通過控制側壁輪廓和徑向可提高均勻性，不同的構造不同的應用可選擇不同的選配項，也可增加濺射實現刻蝕之后的涂覆保護。應用十分廣泛。NANO-MASTER的離子束刻蝕在行業中非常有競爭力，它憑什么可以這樣脫穎而出呢？1
NLD4000型原子層沉積案例解析2022/07/25
NANO-MASTERNLD-4000型等離子增強原子層沉積系統可以提供高品質的薄膜沉積，通過配套ICP離子源系統可以支持PEALD和T-ALD等廣泛應用。眾多的優勢配置，使得NLD-4000型系統具有許多優勢：√超高的薄膜均勻性√良好的粘附力√超凈的沉積（高真空支持）√出色的工藝控制√高度的可重復性（計算機全自動工藝控制）√易使用（可直接調用編好的工藝程序）√運行可靠（所有核心組件均帶有保護）√低維護（完整的安全互鎖）√高、低溫基片樣品臺√小的占地面積26”x44”√全自動工藝控制客戶案例參數
帶你一文領略磁控濺射2022/07/25
主要功能：主要用于半導體應用，及各種需要進行微納工藝濺射鍍膜的情形?？梢杂糜诮饘俨牧希ń?、銀、銅、鎳、鉻等）的直流濺射、直流共濺射，絕緣材料（如陶瓷等）的射頻濺射，以及反應濺射能力?；芍С止杵趸杵Ａ约皩囟让舾械挠袡C柔性基片等。工作原理：通過分子泵和機械泵組成的兩級真空泵對不銹鋼腔體抽真空，當廣域真空計顯示的讀數達到10-6Torr量級或更高的真空時，主系統的控制軟件通過控制質量流量計精確控制Ar氣體(如需要濺射氧化物薄膜，可增加O2)，此時可以設定工藝所要求的真空（一般在0
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