矽翔微機電系統有限公司（矽翔公司，SiargoLtd.）成立于2003年，公司總部位于美國加州硅谷。矽翔公司是目前世界*生產具有自主知識產權、低功耗、超大量程MEMS氣體流量計并使之產品化的廠商。其核心部件一MEMS流量芯片及其封裝技術由公司自主研發，可用于各類氣體及微流體的流量計量和測控，為傳統的流體計量帶來了根本性變革，提供了全新的拓展空間。矽翔公司基于MEMS技術的流量芯片廣泛應用于醫療麻醉...
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