【儀表網 產業報道】近日，由工業和信息化部產業發展促進中心主持的國家重點研發計劃“制造基礎技術與關鍵部件”重點專項硅基MEMS高深寬比三維結構的干涉顯微無損測量技術項目綜合績效評估會議在南京順利召開，我院課題負責人傅云霞帶領項目骨干前往參會。
會上，牽頭單位南京理工大學就項目綜合績效進行全面匯報，該項目按時完成所有指標，經過專家質詢與財務審查等環節，最終綜合績效評估為優秀。
上海計量院作為課題三《測量系統的量值溯源、校準與誤差補償》承擔單位，圍繞硅基MEMS高深寬比三維結構無損測量系統溯源及校準關鍵技術問題，研制具有30：1高深寬比溝槽結構線寬與深度復合標準樣板，開發復合型高深寬比溝槽(臺階)標準樣板定標技術，并通過標準樣板計量學參數對測量系統深寬比范圍、線寬范圍、深度范圍、線寬不確定度、深度不確定度進行校驗和評定，實現對 MEMS 高深寬比三維結構測量系統有效校準。
此次國家重點研發計劃項目順利結題，將有助于形成“產、學、研、用”有機結合創新體系，支撐我國 MEMS 產業快速發展。同時培養一批工藝檢測專業技術人才，帶動相關科技科學研究、技術產品開發、行業應用及產業鏈發展。
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