“硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無損測量技術(shù)”是國家重點研發(fā)計劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項，項目由南京理工大學(xué)牽頭申報，上海計量院與浙江大學(xué)、中國電子科技集團公司第十三研究所作為主要課題負責單位參與申報，上海計量院負責課題三“測量系統(tǒng)的量值溯源、校準與誤差補償”。項目將研制硅基MEMS高深寬比結(jié)構(gòu)的智能化快速無損測量系統(tǒng)，通過專用工藝線接口，實現(xiàn)在超凈環(huán)境下3種工藝線上的驗證測量。
“跨尺度微納米三坐標測量基礎(chǔ)理論與技術(shù)”是國家重點研發(fā)計劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點專項，項目由合肥工業(yè)大學(xué)牽頭申報，上海計量院與哈爾濱工業(yè)大學(xué)、304所、中科院微電子所、中國計量大學(xué)作為主要課題負責單位參與申報，上海計量院負責課題三“非接觸納米定位技術(shù)”。項目將研究三維納米位移和定位的測量理論與技術(shù)，研制高分辨力三維組合納米測頭、微納米三坐標測量機樣機，在精密微型零件加工和微納制造領(lǐng)域進行試驗驗證。
國家重點研發(fā)計劃事關(guān)產(chǎn)業(yè)核心競爭力、整體自主創(chuàng)新能力和國家安全的重大科學(xué)技術(shù)問題，旨在突破國民經(jīng)濟和社會發(fā)展主要領(lǐng)域的技術(shù)瓶頸。上海計量院此次的成功申報，無論在項目的質(zhì)量和數(shù)量上，還是在研究內(nèi)容、經(jīng)費規(guī)模及合作上都有創(chuàng)新和突破。上海計量院將打破原有思維模式，積極探索跨行業(yè)、跨單位、跨部門的科技項目合作模式，聯(lián)合國內(nèi)著名高校、科研院所和協(xié)同創(chuàng)新，全力以赴建設(shè)與上海張江綜合性國家科學(xué)中心相適應(yīng)的質(zhì)量技術(shù)基礎(chǔ)平臺。
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