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| 產地 | 國產 | 加工定制 | 否 |
|---|---|---|---|
| 量程比 | 0-2,10，20，50，100，300，500 sccm | 流量測速范圍 | 重復精度：±0.5％F.S.kg/h |
| 適用介質 | 氣體 | 質保 | 1年 |
熱式氣體質量流量控制器 MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產品特點
超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應
高重復性，寬量程比
更小體積，安裝方便
無需預熱，使用便捷
分階流量控制軟件，靈活配置
主要參數
介質要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air，N2，02，Ar，CH4，CO2
測量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. （1:500）
準確度 ±0.5%F.S.
重復精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm，0-1000 sccm;1 sccm，1-5 slpm （0.01 sccm，0-50 sccm可選）
傳感器響應時間 5ms
控制響應時間 300ms
預熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
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