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蘇州愛拓利電子設備有限公司
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高精度-5SCCM-100SLM氣體流量計

參  考  價:4600
具體成交價以合同協議為準
  • 型號

    MFC300

  • 品牌

  • 廠商性質

    生產商

  • 產品資料

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  • 所在地

    蘇州市

規格

MFC300 4600元 100只可售

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更新時間:2025-06-25 13:32:50瀏覽次數:111次

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產地 國產 工作壓力 3Mpa
加工定制 量程比 0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
流量測速范圍 重復精度:±0.5%F.S.kg/h 適用介質 氣體
壓力范圍 低壓 質保 1年
高精度-5SCCM-100SLM氣體流量計MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

MFC300 系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

高精度-5SCCM-100SLM氣體流量計

    產品特點

超快響應:5ms 測量響應,300ms控制響應

高重復性,寬量程比

更小體積,安裝方便

無需預熱,使用便捷

分階流量控制軟件,靈活配置

主要參數

介質要求  潔凈干燥無腐蝕性氣體

氣體種類  Air,N2,02,Ar,CH4,CO2

測量和控制范圍  0.2%-1  00%F.S. (1:500)

準確度  ±0.5%F.S.

重復精度  ±0.5%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

分辨率  0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)

傳感器響應時間  5ms

控制響應時間  300ms

預熱時間  ≤1s

閥門  常閉式


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