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安捷倫真空泵分子泵組: TPS-移動(dòng)型渦輪分子泵組 TPS-flexy 渦輪分子泵組 TPS-mini渦輪分子泵組 TPS緊湊型渦輪分子泵組 IDP-3

真空規(guī)管及顯示儀表: 瑞士INFICON真空計(jì) Granville-Phillips真空規(guī)管及顯示器 INFICON真空規(guī)管及顯示器英國EDWARDS真空規(guī)管及顯示儀表

石英晶體膜厚控制儀: INFICON晶控探頭維修配件 MAXTEK INFICON

HTC真空閥: APC真空鐘擺閥 HTC真空蝶閥

INFICON檢漏儀: 超聲波檢漏儀易燃性氣體檢漏儀一氧化碳檢測儀冷媒檢漏儀氦質(zhì)譜檢漏儀

Htc 真空管件: Htc 金屬真空波紋（軟）管 Htc 彎頭管件 Htc 三通管件 Htc 四通/十字通管件 Htc 真空轉(zhuǎn)接管件

真空開關(guān)及真空饋入件: 瑞士INFICON公司

HTC 真空轉(zhuǎn)接頭: HTC 管狀直通型轉(zhuǎn)接頭 HTC 圓錐形大小頭轉(zhuǎn)接頭 HTC KF轉(zhuǎn)其他形式轉(zhuǎn)接頭

石英晶振片: 美國MAXTEK晶振片美國INFICON晶振片

HTC真空角閥: HTC真空角閥-手動(dòng) HTC真空角閥-氣動(dòng) HTC Z型閥-手動(dòng) HTC Z型閥-氣動(dòng) HTC Y型閥-手動(dòng) HTC Y型閥-氣動(dòng) HTC 全金屬閥門 HTC 不銹鋼波紋管密封閥門 HTC 球閥

四極質(zhì)譜分析儀: 瑞士INFICON四極質(zhì)譜

真空泵: 艾克森真空泵干泵泵組復(fù)合渦輪分子泵渦輪分子泵隔膜真空泵旋片泵

HTC真空閘閥: HTC手動(dòng)－高真空閘閥 HTC手動(dòng)-超高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-高真空閘閥 HTC氣動(dòng)-超高真空閘閥

質(zhì)量流量計(jì): Vogtlin流量計(jì) MKS流量計(jì)

HTC 真空法蘭: HTC KF法蘭系列 HTC ISO法蘭系列 HTC CF法蘭系列

HTC 中心圈: HTC KF中心圈系列 HTC ISO中心圈系列

HTC訂制真空腔體: 學(xué)術(shù)與研究單位訂制腔體批次真空訂制腔體連續(xù)式真空訂制腔體客制化模組

波前傳感器

科學(xué)相機(jī)（EMCCD）

變形鏡

低溫黑體及大面源黑體

高精度線切割機(jī)

500MM望遠(yuǎn)鏡

壓電閥及自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀: 瑞士INFICON氣體壓強(qiáng)控制儀美國HEY壓電閥

非標(biāo)真空設(shè)備

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MKS流量計(jì)的詳細(xì)介紹及選型指南

時(shí)間：2014/2/25閱讀：4708

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美國MKS INSTRUMENTS產(chǎn)品起源于壓力測量和控制核心技術(shù)，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應(yīng)氣體發(fā)生器及真空技術(shù)，其產(chǎn)品廣泛地應(yīng)用于各種半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備和制造過程中。

MKS流量計(jì)是一種全金屬流量計(jì)，適用于各種氣體流量測量，模擬輸出精度為滿量程1%。全金屬的179A可滿足您的各種電氣和機(jī)械配置需求，包括卡邊緣和電器連接。模擬信號(hào)接口有9針和15針，數(shù)據(jù)接口有S-485和1/4compression。氣管接口有VCR和VCO。

MKS流量計(jì)以單位時(shí)間內(nèi)壓力體積的流量方式來控制氣體質(zhì)量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計(jì)、MKS流量控制閥、MKS流量計(jì)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)，鍍膜玻璃，醫(yī)藥制藥行業(yè)，生物工程行業(yè)，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮?dú)?，氯化氫氣體，氨氣，SICL4硅烷氣體等。

MKS流量計(jì)選型：

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