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微電子機械加工技術，包括體微機械加工技術、表面微機械加工技術、LIGA技術（X光深層光刻、微電鑄和微復制技術）、激光微加工技術和微型封裝技術等。MEMS的發展，把傳感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。【詳細】傳感器,壓力傳感器115742012-02-24 09:53
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